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離子鍍膜機(jī)你了解多少呢?

發(fā)布日期:2022-10-31

離子鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)、真空多弧離子鍍膜機(jī)、真空中頻磁控濺射鍍膜機(jī)、多功能中頻磁控濺射多弧復(fù)合離子鍍膜機(jī)、真空光學(xué)(電子束蒸發(fā))鍍膜機(jī)等系列真空鍍膜設(shè)備,主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

離子鍍膜設(shè)備起源于20世紀(jì)60年代D.M.Mattox提出的理論,且在當(dāng)時(shí)開始有了對(duì)應(yīng)的實(shí)驗(yàn);直到1971年,Chamber等發(fā)表電子束離子鍍膜技術(shù);而反應(yīng)蒸鍍(ARE)技術(shù)則是在1972年的Bunshah報(bào)告所指出,此時(shí)產(chǎn)生了TiC及TiN等超硬質(zhì)的薄膜類型;同樣是在1972年,Smith和Moley在鍍膜工藝中采用了空心陰極技術(shù)。到了20世紀(jì)80年代,我國(guó)離子鍍終于達(dá)到工業(yè)應(yīng)用的水準(zhǔn),相繼出現(xiàn)了真空多弧離子鍍及電弧放電型離子鍍等鍍膜工藝。

真空鍍膜機(jī)

真空離子鍍的整個(gè)工作過(guò)程是:首先先將真空室抽真空,待至真空環(huán)境壓力抽至4X10?3Pa之上,需要把高壓電源接通,在基材與蒸發(fā)器間構(gòu)建一個(gè)低壓放電氣體的等離子低溫區(qū)域。用5000V直流負(fù)高壓連接基材電極,從而形成陰極的輝光放電。惰性氣體離子是在負(fù)輝光區(qū)附近產(chǎn)生的,其進(jìn)入陰極暗區(qū)被電場(chǎng)加速并對(duì)基材表面進(jìn)行轟擊,這是一個(gè)清洗過(guò)程,之后就進(jìn)入鍍膜過(guò)程,通過(guò)轟擊加熱的作用,氣化一些鍍料,等離子區(qū)內(nèi)進(jìn)入原子,與電子及惰性氣體離子產(chǎn)生碰撞,也有少部分發(fā)生離化,對(duì)于這些離化后的離子擁有高能量會(huì)對(duì)薄膜表面進(jìn)行轟擊,一定程度上會(huì)改善膜層質(zhì)量。

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