真空鍍膜機(jī)使用步驟
發(fā)布日期:2022-12-07
電控柜操作
1. 開(kāi)水泵、氣源。
2. 開(kāi)總電源。
3. 開(kāi)維持泵、真空計(jì)電源,真空計(jì)檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。
4. 開(kāi)機(jī)械泵、預(yù)抽,開(kāi)渦輪分子泵電源、并啟動(dòng),真空計(jì)開(kāi)關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。
5. 觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后,關(guān)預(yù)抽,開(kāi)前級(jí)泵和高真空閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達(dá)一定程度后才能開(kāi)右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能打開(kāi)電子槍電源。
DEF-6B操作
1. 總電源。
2. 同時(shí)開(kāi)電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源:按電子槍控制Ⅰ電源、延時(shí)開(kāi)關(guān),延時(shí)、電源及保護(hù)燈亮,三分鐘后延時(shí)及保護(hù)燈滅,若后門(mén)未關(guān)好或水流繼電器有故障,保護(hù)燈會(huì)常亮。
3. 開(kāi)高壓,高壓會(huì)達(dá)到10KV以上,調(diào)節(jié)束流可到200mA左右,簾柵為20V/100mA,燈絲電流1.2A,偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動(dòng)。
關(guān)機(jī)順序
1. 關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。
2. 待分子泵顯示到50時(shí),依次關(guān)高閥、前級(jí)、機(jī)械泵,這期間約需40分鐘。
3. 到50以下時(shí),再關(guān)維持泵。