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真空鍍膜機(jī)成膜不均勻的因素

發(fā)布日期:2022-10-31

真空鍍膜機(jī)由于要保持工件必須能夠自公轉(zhuǎn)的特性,工件在不同真空室之間的傳遞技術(shù)是制造立體分散件多室連續(xù)鍍膜機(jī)的主要難點(diǎn)。目前的傳送機(jī)構(gòu),主要是在常規(guī)的、廣泛應(yīng)用于板帶表面鍍膜的、無工件自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的鏈條隧道式傳送機(jī)構(gòu)。
鏈條隧道式連續(xù)傳送機(jī)構(gòu),是在傳統(tǒng)板帶表面鍍膜機(jī)中的傳遞機(jī)構(gòu)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,對于真空鍍膜裝備制造企業(yè)來說,生產(chǎn)沒有任何困難,市場上已有的立體分散件連續(xù)鍍膜機(jī)采用的均是此類機(jī)型,國內(nèi)有數(shù)家企業(yè)為此還申請專利。為鏈條隧道式傳送機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)設(shè)計圖,其傳遞過程為,公轉(zhuǎn)盤A帶動柔性金屬材料鋼帶B公轉(zhuǎn),自轉(zhuǎn)軸的軸套D焊接在柔性鋼帶上,以機(jī)械機(jī)構(gòu)固定在公轉(zhuǎn)盤上,同時用有內(nèi)齒的固定圓盤F齒合自轉(zhuǎn)軸C上的齒輪E,以保證其自轉(zhuǎn)。柔性金屬材料鋼帶B在G處能夠自由斷開,并做直線運(yùn)動從內(nèi)齒固定圓盤F的H開口處進(jìn)入下一個真空鍍膜室的工件架上。

鏈條隧道式傳遞機(jī)構(gòu)的缺陷是,1、真空室之間的連接閥門需要較大尺寸,這樣,不同真空室之間的氣氛容易互串,進(jìn)而降低鍍膜質(zhì)量、成品率等;2、需要較高的設(shè)計精度、加工水平,由于是柔性結(jié)構(gòu),容易出現(xiàn)匹配不精確,導(dǎo)致傳送出現(xiàn)故障。真空鍍膜機(jī)往復(fù)步進(jìn)齒條推桿式傳送機(jī)其傳遞過程為,固定在鍍膜室頂上或底盤上(與公轉(zhuǎn)盤同一側(cè))、并可以往復(fù)運(yùn)動的齒輪G、齒條H-推桿機(jī)構(gòu),順序?qū)崿F(xiàn)自轉(zhuǎn)工件桿Am從真空室M的公轉(zhuǎn)盤Jm向真空室N的公轉(zhuǎn)盤Jn的傳遞。齒輪、齒條所用的動力是通過軸密封在真空室外的電機(jī)來實(shí)現(xiàn)。為使自轉(zhuǎn)工件桿脫離公轉(zhuǎn)盤進(jìn)入下一個公轉(zhuǎn)盤,在公轉(zhuǎn)盤與自轉(zhuǎn)軸之間采用開放式連接,同時在固定于鍍膜室內(nèi)并維持自轉(zhuǎn)的內(nèi)齒輪盤相應(yīng)位置開口,實(shí)現(xiàn)自轉(zhuǎn)工件桿從鍍膜室M傳送到下一個鍍膜室N。
與鏈條式傳送機(jī)構(gòu)相比,該機(jī)構(gòu)為剛性傳送,不存在齒合不精確問題同時,由于需要的過渡空間小,可以節(jié)約真空室之間閥門的開關(guān)時間、進(jìn)一步減少不同真空室之間的氣氛互串。因而極大的提高了鍍膜工藝穩(wěn)定可靠性、成品率,降低能耗和成本等。
真空鍍膜機(jī)成膜不均

真空鍍膜機(jī)

隨著鍍膜技術(shù)的發(fā)展,各類真空鍍膜機(jī)也逐漸出現(xiàn),不管是哪種真空鍍膜機(jī),薄膜的均勻性都會受到一些因素的影響。現(xiàn)在,我們就以磁濺射真空鍍膜機(jī)來分析成膜不均勻的因素。

鍍膜機(jī)抽氣不均會影響鍍膜均勻性?;蓛艉苤匾U婵斟兡で耙獙⒒砻嬲J(rèn)真清潔干凈,達(dá)到工件去油、去污和脫水的目的。基板表面污染從零件在加工,運(yùn)輸?shù)冗^程中附著的各種各樣的灰塵、油脂、拋光膏、汗?jié)n等,在潮濕環(huán)境下,基片表面易氧化,形成氧化膜吸附氣體。對于這些污物,都能用去油或化學(xué)方法清洗干凈。干凈的基片不要直接放在外面,需要用封閉容器存放,減少沾污。鍍膜室內(nèi)也是會積灰的,所以要清洗鍍膜室內(nèi),烘烤除氣,并將機(jī)器放置在干凈的環(huán)境里。注意擴(kuò)散泵返油。鍍膜的原材料有很多,如樹脂、硅酮、硅鹽酸、聚合物等,輔料、配方的比列有所不同,薄膜也不同。
以上就是真空鍍膜機(jī)成膜不均勻的因素。

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