真空鍍膜機想來來大家都存有疑惑，今天來討論的是關于真空鍍膜設備真空室的設計問題，要是您有興趣了解的話可以一起來看看下面的內(nèi)容。

　　真空鍍膜技術是在真空條件下采用物理或者化學方法，使物體表面獲取所需膜體，真空鍍膜技術根據(jù)其采用方法的不同各分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等，這次分析的鍍膜設備采用的是磁控濺射鍍膜。

真空室是真空鍍膜機的主要部件之一。鍍膜機真空室均配有各種元件，能夠滿足各種類型的真空鍍膜的工藝要求。就像蒸發(fā)鍍膜機真空室內(nèi)置蒸發(fā)金屬的裝置的話，便能完成金屬薄膜的蒸鍍工藝。盡管鍍膜機真空室的可能適配的工藝不同，但基本上它的組成離不開氣缸、封頭、法蘭、管道、門、水冷等結構。

真空室是真空設備的一個主要組成部位,真空鍍膜設備真空室設計主要考慮的就是密封性和可靠性，結構須要合理，真空設備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進行的，材料對真空度的影響要小，設計不能馬虎，要注意一些問題。

（一）焊接要求

根據(jù)需要，在該設備真空室的結構設計上也有所差別，常見有圓柱形、圓錐形、盒形等結構。對于我們的鍍膜機真空室的焊接技術上，要求有基本五點：

為了防止鍍膜機的外殼變形，真空室的非氣密焊接一般用間斷焊。

焊縫的總長度盡量短些，高度要大于真空室殼體的三分之一厚度，才能避免一些漏氣的可能。

焊縫要便于做真空檢漏工作。

盡量別在焊縫上開孔。

焊縫與焊縫間別存在交叉，兩縫的中心線位置間應大于10cm的距離。

（二）主體材料

鍍膜機真空室通常以金屬軋制板材作為主要材料制作，作為真空室的主體材料要求可焊性、氣密性要求比較高。對于一般的鍍膜機真空室使用的主體材料通常是低碳鋼、合金鋼、鋁和銅之類的金屬或合金。而不銹鋼則一般用于需要高真空、耐腐蝕的工藝的型號中。

（三）封頭類型

作為鍍膜機真空室的一個重要零件——封頭，可與筒體焊接組成一個整體。真空鍍膜設備的封頭形式有球形、錐形、凸形、平蓋形等封頭類型。

（四）門的設計

為了便于設備的處理操作、方便各種機構在房間內(nèi)的安裝、取送材料等，在蒸發(fā)鍍膜機真空室裝設了門。作為可動件的門，常見的形式有凸形、球形、平蓋形，等等。鍍膜機真空室的門通常由密封門板、門鏈、法蘭、密封圈等結構組成。根據(jù)鍍膜機真空室外殼的結構，其門板有凸面、平面兩種，形狀上有圓形、矩形之分。矩形門的密封槽加工相對于圓形門來說比較不方便，所以一般適用在一些小型的真空鍍膜設備中。法蘭要做焊后精加工處理，才能避免法蘭變形而影響到設備的整體密封性能。

門的開關可選配手動、自動的形式。通常的真空室都有夾緊系統(tǒng)，夾緊系統(tǒng)有偏心夾緊系統(tǒng)、絲桿螺母系統(tǒng)等類別。夾緊系統(tǒng)施加于密封圈以“預緊力”。但如果鍍膜機真空室是鐘罩型的話，就不需要有夾緊系統(tǒng)，因為它本身的重量就可以給密封圈足夠的預緊力。在抽氣真空之后的大氣壓作用于密封圈，其密封性就更有保障了。

尺寸較大的鍍膜機真空室門受大氣環(huán)境壓力的影響更大，其密封圈更容易被損壞。比方說一個直徑為兩米的圓形門，它承受約為3 X 10N的作用力。所以對于密封槽的設計，應該避免密封圈受力過大。注意密封槽截面積要大于密封圈截面積，且密封圈結構變形允許在30％的范圍。

（五）水冷設計

鍍膜機真空室上通常均設有水冷系統(tǒng)。由于一個鍍膜機真空室有時會有較長時間處于一種高溫狀態(tài)下進行持續(xù)工作，為了可以防止設備殼體變形和保證真空密封性而設立。水冷系統(tǒng)結構形式有兩種：一種是在真空室外壁裝配冷卻水套，另一種是將水管進行螺旋式地焊接在真空室的外壁上。

具體要選擇哪種水冷系統(tǒng)，還得取決于設備的具體使用條件。如考慮焊縫修復方便性、觀察方便性、工作真空高低程度、加熱溫度差異、設備結構差異之類的問題。在蒸發(fā)鍍膜機真空室的熱負載量較小時用水管冷卻系統(tǒng)、熱負載量較大時則用冷卻水套系統(tǒng)來降溫，也可以兩種不同形式的水冷系統(tǒng)一起使用。

目前的真空鍍膜機真空室的殼體形式以圓筒形居多，主要是因為其制造更簡單，而且強度也不錯。真空室的制造除了主要的整體板材之外，對于一些尺寸較小的筒體型真空室來說，它亦可用一種熱軋的無縫鋼管作為主體材料打造。在真空室焊制完成后，要做好矯直和整形工作，再根據(jù)用戶具體需求來做成立式、臥式等形式的鍍膜機真空室。