真空鍍膜機(jī)其用途及優(yōu)點(diǎn)在哪
發(fā)布日期:2022-04-07
現(xiàn)有的真空鍍膜機(jī),主要用于一些放氣量較少的普通玻璃上鍍膜,由于大面積有機(jī)玻璃放氣量較大,熱變形溫度低,剛性低,因此現(xiàn)有的真空鍍膜機(jī)無(wú)法鍍制大面積有機(jī)玻璃?,F(xiàn)有的鍍膜機(jī)蒸發(fā)源間呈正方形分布,這樣鍍出的膜層均勻性差,無(wú)法保證大面積有機(jī)玻璃在鍍制過(guò)程中不變形。
為了克服現(xiàn)有技術(shù)之不足,提供一種真空鍍膜系統(tǒng),本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和真空手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè)。
蒸發(fā)鍍膜與真空手套箱組合,實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、等工藝全封閉制作,使整個(gè)薄膜生長(zhǎng)和器件制備過(guò)程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,消除有機(jī)大面積電路制備過(guò)程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了高性能、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。
真空鍍膜系統(tǒng)用途:主要用于太陽(yáng)能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導(dǎo)體制備等實(shí)驗(yàn)研究與應(yīng)用。